富翁彩票

富翁彩票 欢迎访问富翁彩票!

富翁彩票 全国咨询热线

13484201510

超声波清洗机厂家

超声波清洗机QDR清洁工艺特点

联系我们

富翁彩票
联 系 人:颜先生
电  话:0574-88012699(8线)
传  真:0574-88012766
手    机:13484201510
邮  箱:cnhengke@126.com
网    址:www.cnhengke.com

地  址:余姚市河姆渡镇寺慈线30号

超声波清洗机QDR清洁工艺特点

您的当前位置: 首 页 >> 新闻资讯 >> 行业新闻

超声波清洗机QDR清洁工艺特点

发布日期:2022-08-12 00:00 来源:http://jnusdesign.com 点击:

超声波清洗机QDR清洁工艺特点
一、喷淋清洗
上喷管有两条路,产生交叉喷雾,但去离子水不应直接喷水清洗晶圆表面,因为晶圆在水侵蚀下直接喷水晶表面,容易产生颗粒淤泥,污染晶圆表面,因此,在去离子水喷水环节中,需要调整清洗压力、水量、方向和视角,以达到较好的颗粒污染效果。良好的喷嘴喷涂类别包括所有晶圆和片盒;不良的喷涂清洗形状不覆盖所有晶圆和片盒,盲区区域、颗粒、杂质和化学物质仍然很高,不能达到良好的清洗效果。
二、鼓包冲浪清洗
同时,下喷管道继续从底部两侧进水,然后从内槽周围溢出,使每个晶圆缝和边缘的去离子水不断升级。同时,纯粹气体(氮气或空气压缩)自下喷淋管路进到槽体。鼓包有以下几个功效:
(1)增强了去离子水的冲刷力,对槽体自身有很好的自清洗功效;
(2)晶圆在流水中晃动,气泡不能附着在其上,提高了清洗效果;
(3)N去离子水中的氧含量降低,避免在晶圆表面产生氧化物。
三、超音波清洗
QDR增强了超音波作用选项,通过式喷淋清洗线与鼓包冲浪清洗更替功效,极大的提升了清洗效率,并有效降低DI水的使用量。典型的运用方法是:上喷淋+排出→上喷淋+下进水→超声+上喷淋+溢流→鼓包+上喷淋+溢流→快排出
四、快冲快排
喷淋灌满水时间和排水时间,对晶圆清洗品质有很大影响。因为暴露在空气中的晶圆表面会接触到空气中的氧原子或水蒸气,一层非常薄的氧化层(约0.5~1nm),这种天然氧化物的厚度与暴露在空气中的时间有关。因此,雾化超声波清洗线喷水时间越长,晶圆暴露在空气中的时间越长,形成的氧化层越厚,对晶圆清洗非常不利。QDR排水的时间越少,排水流速就会越大,有益于去离子水带去晶圆表面里的颗粒杂质。因而,在QDR在设计中,要尽量减少喷灌时间和排水时间,完成快冲快排,提高整体效率。超音波的QDR快排及注水时间指标为:注入时间:≤120秒,排出时间:≤12秒。
超声波清洗机QDR清洁工艺特点

相关标签:全自动碳氢超声波清洗线,全自动喷淋超声波清洗机,全自动超声波清洗生产线

contact us

富翁彩票

手机:134 8420 1510
电话:0574-88012699
邮箱:cnhengke@126.com
地址:余姚市河姆渡镇寺慈线30号

service

0574-88012699

服务热线
  • 在线客服
  • 联系电话
    13484201510
  • 在线留言
  • 手机网站